チップ製造：中国が独自のEUVレーザー試作機を発表

何が起きたか

ラングダオ・シレックスは、第26回中国国際工業博覧会で、EUV光源の試作品を展示しました。EUVは極端紫外線の略で、チップに非常に細かい回路を焼き付けるために使う、波長の短い光です。同社は、オランダのチップ製造装置メーカーASMLと、そのドイツ人のレーザー供給元トランプフ(Trumpf)の方法をまねています。小さなスズの粒にレーザーを当ててプラズマに変え、そこから出る光を使います。

主な数字

• レーザーの出力は1,000ワットです。
• スズの粒に1秒間に最大20,000回当てます。
• 同社は、EUVの出力が15ワット以上だと説明しています。
• 光の波長はまだ公表されていません。ASMLは13.5ナノメートルです。
• 同社は、100時間以上止まらずに動けると説明しています。

チップ用の光が難しい理由

チップの製造装置は、速く働くために非常に強いEUV光が必要です。ASMLは、EUV装置を作る世界で唯一のメーカーです。輸出制限があるため、中国へは古いタイプしか売れない可能性があります。現在のASMLの装置は約600ワットのEUV光を作りますが、多くの鏡を通る間に光が減り、シリコンのウエハーに届くころには少ししか残りません。中国の試作品は、この水準にはまだ遠く及びません。

なぜ重要か

中国は、外国の供給元に頼らないように、自前のチップ製造装置を作りたいと考えています。今回の試作品は、実際の前進を示しています。しかし専門家は、まだ実用には遠いとみています。博覧会の担当者は量産まで3~5年かかると話し、ツァイスSMTの社長は、中国がすべての部品を作り、生産の問題を解決するまでに15年かかるかもしれないと述べました。

今後注目すべき点

• 光の波長や、さらなる試験結果が公表されるかどうか。
• まだ構想段階の「High Power」版の進展。
• ASMLも苦労した、長時間安定して動くレーザーを作れるかどうか。
• 実際にどれだけの部品を中国で作れるか。同社は、レーザーの90%が中国製の部品だと説明しています。