Sản xuất chip: Trung Quốc trình làng nguyên mẫu laser EUV tự phát triển

Chuyện gì đã xảy ra?

Langdao Silex đã trưng bày nguyên mẫu nguồn sáng EUV tại Hội chợ Công nghiệp Quốc tế Trung Quốc lần thứ 26. EUV là tia cực tím, một loại ánh sáng có bước sóng rất ngắn, dùng để in các mạch điện siêu nhỏ lên chip. Công ty này học theo cách làm của ASML, hãng chế tạo máy chip ở Hà Lan, và nhà cung cấp laser người Đức Trumpf. Họ bắn laser vào các giọt thiếc nhỏ để biến thiếc thành plasma nóng, rồi dùng ánh sáng phát ra từ đó.

Các con số chính

• Laser có công suất 1.000 watt.
• Laser bắn vào giọt thiếc tối đa 20.000 lần mỗi giây.
• Công ty nói công suất EUV trên 15 watt.
• Bước sóng ánh sáng chưa được công bố. Của ASML là 13,5 nanômét.
• Công ty nói máy có thể chạy liên tục hơn 100 giờ.

Vì sao ánh sáng cho chip khó làm?

Máy làm chip cần ánh sáng EUV rất mạnh để chạy nhanh. ASML là hãng duy nhất trên thế giới sản xuất máy EUV. Do hạn chế xuất khẩu, hãng này có thể chỉ được bán các mẫu cũ cho Trung Quốc. Máy ASML hiện nay tạo khoảng 600 watt ánh sáng EUV, nhưng phần lớn ánh sáng bị mất khi đi qua nhiều gương trước khi tới tấm silicon. Nguyên mẫu của Trung Quốc còn kém xa mức này.

Vì sao điều này quan trọng?

Trung Quốc muốn tự làm máy chip để không phụ thuộc nhà cung cấp nước ngoài. Nguyên mẫu này cho thấy tiến bộ thật sự. Nhưng các chuyên gia cho rằng còn xa mới sẵn sàng. Nhân viên tại hội chợ nói phải 3 đến 5 năm nữa mới sản xuất hàng loạt được, còn người đứng đầu Zeiss SMT nói Trung Quốc có thể cần tới 15 năm để tự làm mọi linh kiện và giải quyết các vấn đề sản xuất.

Cần theo dõi điều gì?

• Langdao Silex có công bố bước sóng ánh sáng và thêm kết quả thử nghiệm hay không.
• Tiến độ của phiên bản "High Power" mạnh hơn, hiện mới chỉ ở giai đoạn ý tưởng.
• Công ty có làm cho laser ổn định trong thời gian dài hay không, vấn đề mà ASML cũng phải giải quyết.
• Có thể tự làm được bao nhiêu linh kiện ở Trung Quốc. Công ty nói 90% laser của họ dùng linh kiện Trung Quốc.