VN — VnExpress
'Đánh đổi' của Trung Quốc khi sản xuất chip không EUV
Bán dẫn2 phút đọc
Trung Quốc đang tìm cách làm chip tiên tiến mà không dùng máy EUV, vì máy này bị Mỹ hạn chế xuất khẩu. Họ làm được điều đó bằng máy DUV, nhưng phải trả giá về chi phí, tỷ lệ lỗi và thời gian.
Chuyện gì đang xảy ra
Các nhà sản xuất chip Trung Quốc hiện có thể tạo ra chip tiên tiến mà không cần máy EUV. Trước đây, EUV được xem là điểm nghẽn lớn nhất. Thay vào đó, họ dùng máy DUV, loại máy cũ hơn nhưng vẫn được sử dụng rộng rãi. Cách làm này đi kèm nhiều rào cản về chi phí, năng suất và thời gian sản xuất.
Những con số chính
- Từ năm 2012 đến 2026, các nhà sản xuất chip Trung Quốc đã tích lũy khoảng 343 máy DUV.
- Trong số đó, 270 chiếc là Twinscan NXT:1980i của ASML.
- Chuyển từ tiến trình 7 nm xuống 5 nm bằng cách tạo mẫu nhiều lần có thể làm số bước sản xuất tăng khoảng 20%.
- Với kỹ thuật này, ba lần phơi sáng bằng DUV có chi phí gần tương đương một lần phơi sáng bằng EUV trong giai đoạn đầu.
Vì sao DUV khó hơn
Máy DUV dùng ánh sáng có bước sóng 193 nm, còn EUV dùng 13,5 nm, nên ánh sáng của EUV ngắn hơn nhiều. Để tạo cấu trúc rất nhỏ, nhà máy phải chia một thiết kế thành nhiều mẫu đơn giản hơn. Sau đó họ lặp lại quy trình in và ăn mòn nhiều lần. Cách này giúp đạt được mức tiên tiến, nhưng làm tăng số công đoạn và số lần phải căn chỉnh chính xác.
Vì sao chuyện này quan trọng
Chip là bộ não của điện thoại, máy tính và nhiều thiết bị khác. Nếu Trung Quốc vẫn tự làm được chip tiên tiến dù bị hạn chế, cuộc cạnh tranh công nghệ với Mỹ sẽ kéo dài hơn. Nhưng mỗi công đoạn thêm vào lại làm tăng nguy cơ lỗi, nên chip khó đạt chất lượng và giá thành thấp như cách làm bằng EUV.
Cần theo dõi điều gì
- Máy quang khắc DUV do doanh nghiệp Trung Quốc tự sản xuất, như của Shanghai Yuliangsheng Technology, có đạt mục tiêu 5 máy năm nay và khoảng 20 máy năm sau không.
- Năng suất và tỷ lệ lỗi của chip sản xuất bằng DUV nhiều lần phơi sáng.
- Các công ty như SMIC và Hua Hong Semiconductor có mở rộng sản xuất chip tiên tiến hay không.
Chú giải
- EUV
- Công nghệ in chip dùng ánh sáng cực tím cực ngắn, rất hiện đại và đắt tiền.
- DUV
- Công nghệ in chip dùng ánh sáng cực tím sâu, cũ hơn EUV nhưng vẫn được dùng rộng rãi.
- ASML
- Công ty Hà Lan sản xuất máy in chip, gồm cả máy EUV và DUV.
- SMIC
- Công ty sản xuất chip lớn nhất Trung Quốc.