Vitrontech、素材・部品・装置の優良企業に選定…「120億ウォン規模の半導体装置を開発」

何が起きたのか

Vitaltron社は、韓国の産業通商資源部から「優秀な素材・部品・装置企業」に選ばれました。同社は、韓国の大手半導体企業などと一緒に、急速熱処理(RTP)装置を開発する予定です。RTPは、チップを非常に速く加熱して、表面の薄い膜の性質を変える工程です。

数字で見るポイント

• 事業の規模は約120億ウォン(約800万米ドル)です。
• 対象は3D DRAMなどの次世代3Dチップです。
• 成膜(膜をつける)とエッチング(膜を削る)の工程を、一つの装置にまとめる計画です。
• 新しい設計では、レーザーを使って速く正確に温度を管理します。

なぜ熱処理が大事なのか

チップは年々小さくなり、部品がぎゅっと詰まっています。そのため、チップの中の薄い膜の質を決める熱処理の工程がますます重要になっています。従来のランプを使った加熱では、工程ごとに違う温度に合わせるのが難しいと、同社は説明しています。Vitaltron社はもともと画面やディスプレイの会社でしたが、今は世界のチップ製造装置市場に売り込みたいと考えています。

なぜ大事なのか

チップ製造装置の分野では、少数の大企業が市場を支配しています。もしVitaltron社が成功すれば、韓国にとって重要な製造道具の新しい供給元が生まれるかもしれません。今回の表彰は、韓国政府が自国の部品や装置メーカーを育てたいと考えていることも示しています。

今後の注目点

• 共同開発のRTP装置が完成し、チップメーカーと一緒に試験されるかどうか。
• レーザーによる温度管理が、実際の工場でうまく働くかどうか。
• Vitaltron社が世界のチップ製造装置市場で顧客を獲得できるかどうか。
• 一つにまとめた装置が、生産の速さや効率を本当に高めるかどうか。