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비아트론, 소부장 으뜸기업 선정..."120억원 규모 반도체 장비 개발"
반도체1분 읽기
디스플레이 열처리 장비 회사 비아트론이 정부의 '소재부품장비 으뜸기업'으로 뽑혔습니다. 이 회사는 여러 반도체 기업과 함께 120억 원 규모의 반도체 장비를 새로 만들 계획입니다.
무슨 일이 있었나
비아트론은 산업통상부가 주관하는 '소재부품장비 으뜸기업'에 선정됐다고 1일 밝혔습니다. 회사는 국내 종합반도체 기업 등과 함께 급속열처리(RTP) 장비를 개발합니다. 이 장비는 3D D램 같은 차세대 3D 반도체 공정에 맞춰 만들어집니다.
주요 숫자와 사실
열처리 장비란?
열처리는 반도체 재료에 열을 가해 성질을 바꾸는 공정입니다. 기존에는 램프(빛을 내는 열원)로 열을 가하는 방식이 많이 쓰였습니다. 하지만 공정마다 필요한 온도가 달라서, 램프 방식은 빠르게 대응하기 어려웠습니다.
왜 중요한가
반도체는 점점 더 작고 촘촘해지고 있습니다. 그래서 얇은 막의 품질을 정하는 열처리 공정의 중요성도 커지고 있습니다. 비아트론은 레이저 기반의 빠르고 정밀한 온도 조절 기술로 이런 한계를 넘어, 글로벌 반도체 장비 시장에 들어가겠다는 목표를 세웠습니다.
앞으로 지켜볼 점
- 새 RTP 장비가 실제로 개발되어 3D D램 공정에 쓰일지
- 국내 종합반도체 기업과의 협력이 어떻게 진행될지
- 비아트론이 해외 반도체 장비 시장에 얼마나 들어갈지
용어 풀이
- 비아트론
- 디스플레이 열처리 장비를 주로 만드는 회사입니다.
- 소재부품장비 으뜸기업
- 산업통상부가 소재, 부품, 장비 분야에서 우수한 기업을 뽑아 주는 제도입니다.
- 급속열처리(RTP)
- 반도체 재료에 짧은 시간 안에 빠르게 열을 가하는 공정이나 그 장비입니다.
- 3D D램
- 메모리 칩을 여러 층으로 쌓아 만드는 차세대 D램 반도체입니다.
- 증착
- 반도체 표면에 얇은 막을 입히는 공정입니다.
- 식각
- 필요 없는 부분을 깎아 내어 회로 모양을 만드는 공정입니다.